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レーザー製品
エキシマレーザー



エキシマレーザーは高いパルスエネルギーを出射するレーザーで
半導体産業マーケットや医療マーケットで利用されています
オプトピアでは主に研究所や医療マーケットで使われる
比較的小型で使い勝手の良いエキシマレーザーを取り扱っております
エキシマレーザー

CL-5000シリーズ


CL-5000シリーズは小型コンパクトでありながらエネルギー安定性の高いエキシマレーザーです。
新開発のPseudo放電スイッチにより高寿命を実現し、出力安定化を含むPC制御、コロナ予備電離方式の採用とセラミックチューブの採用で長いガス寿命を実現しています。もちろんプリミックスガスが使用でき安全性も高いレーザーになっています。
CL-5000シリーズ仕様
モデル名 CL-5100 CL-5200 CL-5300
ガス種類 ArF KrF XeCl ArF KrF XeCl ArF KrF XeCl
発振波長 193nm 248nm 308nm 193nm 248nm 308nm 193nm 248nm 308nm
最大平均出力 2W 4W 2.5W 4W 8W 5W 5W 10W 7W
最大パルスエネルギー 20mJ 40mJ 25mJ 20mJ 40mJ 25mJ 20mJ 40mJ 25mJ
繰り返し周波数 1 ~ 100Hz 1 ~ 200Hz 1 ~ 300Hz
CLS-5000シリーズ仕様
モデル名 CLS-5000 カタログPDF
ガス種類 ArF KrF XeCl
波長 193nm 248nm 308nm
最大平均出力 7.5W 12.5W 6W
最大パルスエネルギー 15mJ 25mJ 12mJ
繰り返し周波数 1 ~ 500Hz

CL-7000シリーズ


CL-7000シリーズは高エネルギータイプでエネルギー安定性の高いエキシマレーザーです。
新開発のPseudo放電スイッチにより高寿命を実現し、出力安定化を含むPC制御、信頼性の高いサイラトロンスイッチ、セラミックチューブの採用で長いガス寿命を実現しています。もちろんプリミックスガスが使用でき安全性も高いレーザーになっています。
CL-7000シリーズ仕様
モデル名 CL-7020 CL-7050 CL-7100 CL-7700
ガス種類 ArF KrF XeCl ArF KrF XeCl ArF KrF XeCl ArF KrF
発振波長 193nm 248nm 308nm 193nm 248nm 308nm 193nm 248nm 308nm 193nm 248nm
最大平均出力 5W 8W 6W 15W 20W 15W 25W 35W 25W 15W 30W
最大パルスエネルギー 250mJ 400mJ 300mJ 250mJ 400mJ 300mJ 250mJ 400mJ 300mJ 350mJ 700mJ
繰り返し周波数 1 ~ 20Hz 1 ~ 50Hz 1 ~ 100Hz 1 ~ 50Hz